顶点光电子商城2022年4月8日消息：中国轨道交通信息技术研究院，通过自主创新、集成创新以及资源整合，通过3-5年的努力，使一批关键技术得到突破，一批科技成果在郑州转化，一批科技人才在郑州聚集，为郑州科技创新和产业转型提供坚实支撑。

‍‍‍‍        近日，中国长城旗下郑州轨道交通信息技术研究院（以下简称“郑州轨交院”）为郑州市战略新兴产业发展提供支撑，努力打造郑州市轨道交通产业建设新名片。

‍‍‍‍

        中国长城郑州轨道交通信息技术研究院历时一年，在研制新设备的经验和基础上，推出全新设备。

‍‍

        在研制半导体激光隐形晶圆切割设备的经验和基础上，推出了支持超薄晶圆全切工艺的全自动12寸晶圆激光开槽设备。

        还支持5nm DBG工艺、120微米以下超薄wafer全切割功能、晶圆厂IGBT工艺端相关制程和TAIKO超薄环切等各种高精端工艺。

        此外，该设备采用的模块化设计，可支持不同脉宽（纳秒、皮秒、飞秒）激光器。自主研发的光学系统，可实现光斑宽度及长度连续可调，配合超高精度运动控制平台等技术，解决了激光隐切设备对表面材质、厚度、晶向、电阻率的限制，实现了工艺的全兼容，有效控制产品破损率。

        新设备研发将带动郑州以交通产业为主的信息安全等新兴产业的发展，为建设国家中心城市而努力。