PHEMOS－XC15765－01半导体是滨松推出的新款产品，是一款半导体故障分析系统，该系统可以借助能见光到近红外光来解析缺点。之所以能在单个制定中完成这一点，是由于使用了新款多波长激光扫描仪，应用了滨松特有的内部光学设计技术。光探测仪是光谱类仪器设备的“眼睛”，是收集讯号、开展讯号转换的关键、核心部件，对分析仪行业的发展起着巨大的促进作用。

         滨松方面称：应用滨松内部的光学设计技术，大家重新制定了半导体分析系统的内部构件，列如使用激光束来进行扫描半导体元器件的激光扫描仪、定位半导体元器件的光学台、宽视场观察的微距镜头等。提高设备的灵敏度、分辨率、准确度和易用性，对比现在使用的系统有着很大的提升。

        PHEMOS－X是一类半导体问题分析系统，能搭配5个激光器，输出波长从可见光到近红外光不等。PHEMOS－X仅用1台设施就可以高灵敏度、高分辨率查出半导体问题。

        当对半导体设备增加电压时，半导体设备中的问题点会产生光和热。在对半导体元器件增加电压时，用激光束扫描半导体元器件，会使问题点的电流和工作状态产生变化。

        借助设备的这类特性，根据检测点增加电压造成的半导体元器件变化的讯号，开展激光扫描，并将这类讯号以图像的形式可视化，就可以估计出问题位置。

        滨松补充说，传统的激光扫描仪是特意为波长为1300nm的近红外光制定的。＂团队再次制造了激光扫描仪的光学系统，以PHEMOS为依据，它能够抑制5种激光器中的光学耗损。＂因而，只需1台设施就可以开展半导体问题解析，借助从532nm的能见光到1340nm的近红外光的多波长激光束。对比以前应用波长较短的激光，能够更具体地观察半导体元器件。它还能保证高灵敏度，以找寻和观察功率半导体的问题点，这类问题点对能见光有响应，并非一般半导体的红外光。＂

        滨松在发布消息中透露，PHEMOS－X将于今年4月1日面对日本本土和国际半导体设备生产商开始售卖。半导体器件会逐步往更精细化发展，以碳化硅和氮化镓等化学物质为原材料的功率半导体也会越发受到关注，所以急切需要1台能高效率判断这些元器件问题所在位置的设备。