顶点光电子商城2022年9月8消息：近日，上海复享光学股份有限公司完成了针对刻蚀应用场景的光谱仪—ZURO系列产品的研发与量产导入。

       ZURO系列光谱仪匹配半导体行业标准，满足针对金属刻蚀、单多晶硅刻蚀、化合物刻蚀及高速清洗等多个应用场景需求，具有信号精准、性能长期稳定、Fab生产环境适应等特点。该系列产品具备高灵敏、高信噪比等优势，单帧采集最大动态范围突破40000:1，优于同类国外产品，能够有效提取深孔和多晶硅刻蚀过程中的弱信号。

       此外，为ZURO系列光谱仪配备的软件，ideaEPD是一款由复享光学深入客户应用开发的Fab工艺专用软件，支持自定义终点算法、工艺终点分析、高速采样监控、刻蚀深度监控等功能，能实现多达10台腔体的同时监控。

        复享光学已完成ZURO系列产品的国产验证与量产准备，能为客户进行差异化的定制开发，解决头部客户的关键光学零部件供应安全问题。目前，复享光学的多系列光谱模组产品已经获得多家半导体头部客户的验证、生产导入及小批量订单。随着对需求响应的不断深入和工程参数的持续优化，复享光学从起量阶段逐步进入到放量阶段，以光谱硬科技助力产业发展。

        上海复享光学股份有限公司于2011年6月29日在上海市工商局登记成立。法定代表人殷海玮，公司经营范围包括光学科技，仪器设备、新材料、检测技术、医药等。本次发布为集成电路产业提供了面向6、8、12寸制程刻蚀工艺的光谱检测解决方案。