顶点光电子商城2022年6月30日消息:近日,为激励基层党组织和广大党员在科技创新工作中发挥好“两个作用”(基层党组织战斗堡垒作用和党员先锋模范作用),充分发挥优秀科技创新团队的示范带动作用,中国科学院近日组织开展“科技创新先锋团队”评选,表彰30支在科技攻关任务中带头践行科学家精神、充分发挥“两个作用”、科技创新成效显著的科技创新团队,其中包括上海微系统与信息技术研究所12英寸大硅片攻关团队。
硅片是集成电路产业最大宗的核心基础材料,我国12英寸硅片长期百分百依赖进口,严重制约产业安全自主发展。为从根本上解决这一问题,中科院上海微系统所于2014年组建了12英寸大硅片攻关团队。
2016年10月31日,攻关团队拉制出第一根大产率单晶棒。2017年2月,晶棒长度提升至2米,达到国际先进水平。2021年,无缺陷硅单晶生长技术取得重大突破,满足先进存储器制造需求。
经过8年的艰苦攻关,团队克服重重困难,不但实现我国12英寸硅片制造的技术突破,更是攻克了集成电路领域14纳米先进节点硅片难题,并实现存储器用无缺陷硅片技术的重大突破。
截至2022年5月,累计出货量超500万片,满足国内5家主要集成电路制造企业23%的正片需求,解决了我国集成电路产业战略急需问题。