顶点光电子商城2022年2月15日消息，TRUMPF（德国通快集团）最近成功进行了第200台用于EUV光刻机的光源设备出货。

        EUV光刻机，顾名思义就是需要用到EUV，也就是极紫外线，来进行雕刻的器件。获取EUV的方法是，通过锡发生器向真空室内每秒发射5万滴锡珠，这些锡珠被激光脉冲击中，就会电力产生高强度的等离子体，同时产生波长为13.5nm的EUV光。EUV光刻机就是通过这一过程收集EUV光，再经过反射装置将其输送到雕刻部位，对晶圆刻画图形。

        这其中的关键就是能使锡珠电离的激光脉冲。TRUMPF在其现有的二氧化碳激光技术的基础上，开发出了一套激光放大设备。这套放大设备的核心组件有高功率放大链路、光学平台FFA、高功率种子模块和光束传输系统等。这套激光放大设备有5个放大过程，总计可以将一束激光放大一万次，即使是一束较小功率的激光，经过这套放大设备的放大之后，输出的激光平均脉冲功率可以达到30000W，脉冲峰值功率甚至超过兆瓦。

通快集团生产车间

        从2015年开始，EUV光刻机巨头ASML开始向TRUMPF采购配件，也是从那时开始，TRUMPF就变成了EUV光刻机的配件供应商。

        TRUMPF巩固自己的江湖地位还要从收购大通激光（Access Laser）开始。大通激光是靠研发CO2激光器起家，在这一领域积累了深厚的技术。2017年，TRUMPF收购了85%的大通激光股权，利用其在定制激光器领域的技术积累，加速在EUV相关配件设备方面的研发，最终成为EUV光刻机光源的独家供应商。

大通激光器

        据公开披露的信息，TRUMPF在2020年7月1日－2021年6月30日（2021财年）实现营收月39.26亿欧元（折合美元约44.45亿美元），其中，EUV业务营收5.3亿欧元，占比13.5%。2022财年，TRUMPF预计在EUV业务上的营收将达到6亿欧元。